서대문구 평생학습센터

1. 과 정 명: 예비취업자를 위한 DIY-반도체 공정모델링

2. 신청대상: 서대문구 거주자 반도체 관련 유사학과 대학생 및 미취업자(고졸, 대졸, 재학생은 3학년 2학기~4학년)

3. 모집기간: 2023년 1월 5일~19일까지(확정통보는 1월 30일 이메일통보)

4. 교육일정:

①2023년 2월 13일~14일(온라인) / 2월 15일~17일(오프라인)/총 5일

②2023년 2월 13일 ~14일(온라인) / 2월 22일~24일(오프라인)/총 5일

5. 교육내용: 통계기법을 활용한 공정모델링 및 공정장비 실습을 통한 반도체 공정 실무 이해

각 세부 실습과정별 공정 변수에 따른 결과 변수의 예측 및 실습

I. 플라즈마 식각공정 - ICP RIE 가스 유량 및 파워 공정변수에 따른 Si 식각

II. 포토공정 - Mask Aligner 노광시간 및 현상시간 공정변수에 따른 Gate length CD

III. PVD공정 - Reactive Sputter 가스조성비 및 압력 공정변수에 따른 두께 및 면저항

6. 신청자 요건 및 유의 사항 (신청시 증빙자료 제출 필수)

① 반도체 공정 이론 또는 공정실습 과목 이수자 (본인 수료사항 확인할 수 있는 자료)

② 서대문구 거주자 (주민등록등본)

③ 온라인 및 오프라인 실습(개별 노트북 지참)